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高分辨率场发射扫描电镜

作者: 2020-04-15 来源:
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 非线性力学国家重点实验室购置的高分辨率场发射扫描电镜,于201810月完成安装培训并进入试运行阶段。设备如图1所示,主要由蔡司Gemini 300扫描电镜主机、牛津Aztec X-Max50能谱和牛津Symmetry 超级EBSD系统组成。

该设备可对金属、陶瓷、矿物、岩石等材料进行表面形貌及表层结构特征的分析研究,其in Lens模式对不导电样品也可直接成像,15kV下二次电子像的点分辨率为0.8nm;能谱仪能够对Be4~U92 范围内的元素进行点、线、面成分分析;电子背散射衍射可进行材料微观结构、取向分布、物相分布及变形特征等的分析,Symmetry探测器采用全新的CMOS技术,采集速度最快能够达到3000/秒,是传统EBSD30倍。同时,配合实验室现有的加载台(包括Gatan样品拉伸台、Hysitron PI-85扫描电镜专用原位力学实验平台),在位实时的观测变形过程中的变形、损伤演化,以揭示材料宏观力学行为与显微组织的关联,可以用来研究微、纳米尺度上先进的纳米材料、非晶、非均匀高强材料等塑性变形、疲劳损伤、断裂的微观结构机理,以满足科研需求。

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